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Forschungsziel ist die Untersuchung und Modifikation von Oberflächen und Festkörpern auf atomarer Ebene mittels Ionenstrahlen. Dabei werden Ionen mit kinetischen Energien von wenigen Kilo- bis einigen Mega-Elektronenvolt nanometergenau platziert. Ein Ziel ist die Herstellung von Quantenbauelementen und die Funktionalisierung einzelner Atome in einem Festkörper wie Diamant.